生物无尘室主要控制有生命微粒与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。又可分为;a、 一般生物无尘室,主要控制微生物对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般---正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业无尘室。例:制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。b、 生物学安全无尘室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与---的负压。例:生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因)。
在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。
无尘室内防止微粒子污染基本原则:
排除/除去
在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让无尘室内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。针对排气的对策如下:由于导入同量的外气是---的,但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时,无尘室设备定位安装方案,不仅仅是向无尘室外排气,负离子检测仪而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。
无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之---的洁净度日及温湿度,使产品能在一个---之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的a。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于a,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1k级别。
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