无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之---的洁净度日及温湿度，使产品能在一个---之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于a，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。

     复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（clean tunnel）：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ulsi制程大都采用此种型式。2μm过滤器为之，一般洗涤周期视清洁度等级而定，在高洁净区为2～3天，其他区域则为5天～1星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。

发菌量工作人员产生的污染

   1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）

   2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。

   3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。

   4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品。

   5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。

   6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。

   7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。

    清洁室内用品除了进出洁净室用的洁净衣、防静电鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚有如纸张文具桌子、椅子、晶片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、真空洗尘器等。洁净衣材料以洗后或使用其他处理后仍不会变质或发尘者为基本条件，且其布料为不燃、不起毛，其织法或布料组织不易通过污染物和不易附著污染物材质，另外经过摩擦不产生静电或带电性非常，洗涤再生容易、不易皱、著衣感舒适等亦为选用考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走。头罩材质为无尘纸（或无纤纸）制成，帽子材质则与洁净衣同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛或脸表---分外，其他部分均须包覆，在头部部分连接上衣处也必须完全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。